COBRA DS 5161–9161 B/F干式螺桿真空泵
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摘要
【Busch 普旭 COBRA DS 5161–9161 B/F 干式螺桿真空泵】? 核心市場定位? 主攻高潔凈、強耐腐、高要求真空場景，覆蓋半導體 / 光伏 / 化工 / 制藥等制造領域，解決傳統(tǒng)油泵 “污染 + 維護繁” 痛點，適配對真空度、穩(wěn)定性要求嚴苛的工業(yè)場景。? 典型應用場景? 半導體制造：CVD 薄膜沉積、晶圓蝕刻 / 清洗，無油設計硅片污染，極限壓力 0.001 hPa 滿足精密工藝；? 光伏產業(yè)：硅片鍍膜、電池片退火，抽速 4200-6160 m3/h 快速建立真空，提升產能 30%；? 化工 / 制藥：真空蒸餾、溶劑回收、藥品凍干，耐腐涂層螺桿抗酸堿 / 水蒸氣，符合 GMP / 防爆標準；? 新能源領域：鋰電池極片干燥、氫燃料提純，無油運行避免電解液污染，能耗比傳統(tǒng)泵低 40%。? 市場核心優(yōu)勢? 無油潔凈：零油污染，適配高潔凈工藝；? 耐腐耐用：螺桿防腐蝕涂層，維護周期達 2 年；? 節(jié)能：IE4 電機 + 優(yōu)化結構，年省運維成本 25%+；? 品牌保障：Busch 普旭 50 年技術，2 年質保 + 終身支持。
產品介紹
COBRA DS 5161–9161 B/F干式螺桿真空泵
適用于高要求工藝的新一代干式真空泵
技術規(guī)格
ISO 50 HzISO 60 HzUS 60 Hz
尺寸圖
COBRA DS 5161–9161 B/F
抽速
空氣溫度為 20°C 時， 公差：± 10%
【Busch 普旭 COBRA DS 5161–9161 B/F 干式螺桿真空泵】
核心市場定位
主攻高潔凈、強耐腐、高要求真空場景，覆蓋半導體 / 光伏 / 化工 / 制藥等制造領域，解決傳統(tǒng)油泵 “污染 + 維護繁” 痛點，適配對真空度、穩(wěn)定性要求嚴苛的工業(yè)場景。
典型應用場景
半導體制造：CVD 薄膜沉積、晶圓蝕刻 / 清洗，無油設計硅片污染，極限壓力 0.001 hPa 滿足精密工藝；
光伏產業(yè)：硅片鍍膜、電池片退火，抽速 4200-6160 m³/h 快速建立真空，提升產能 30%；
化工 / 制藥：真空蒸餾、溶劑回收、藥品凍干，耐腐涂層螺桿抗酸堿 / 水蒸氣，符合 GMP / 防爆標準；
新能源領域：鋰電池極片干燥、氫燃料提純，無油運行避免電解液污染，能耗比傳統(tǒng)泵低 40%。
市場核心優(yōu)勢
無油潔凈：零油污染，適配高潔凈工藝；
耐腐耐用：螺桿防腐蝕涂層，維護周期達 2 年；
節(jié)能：IE4 電機 + 優(yōu)化結構，年省運維成本 25%+；
品牌保障：Busch 普旭 50 年技術，2 年質保 + 終身支持。
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