多西托（DosiTorr）高真空傳感器：高真空場景的
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摘要
多西托（DosiTorr）高真空傳感器，是高真空場景的 “數(shù)據(jù)管家”！1×10?2~1×10?? mbar 寬量程，±5% 精度 +≤0.1%/ 年漂移，熱陰極技術(shù)保數(shù)據(jù)準(zhǔn)。耐腐蝕合金 + 電磁屏蔽抗干擾，適配半導(dǎo)體、實(shí)驗(yàn)室。18 個(gè)月免校準(zhǔn)，支持遠(yuǎn)程監(jiān)控，CE/ISO 認(rèn)證，省心又可靠！
產(chǎn)品介紹
多西托（DosiTorr）高真空傳感器：高真空場景的 “數(shù)據(jù)管家”
多西托（DosiTorr）高真空傳感器：高真空場景的 “數(shù)據(jù)管家”
針對半導(dǎo)體制造、實(shí)驗(yàn)室分析、真空鍍膜等場景對真空度 “實(shí)時(shí)監(jiān)測、穩(wěn)定抗干擾” 的核心需求，多西托（DosiTorr）高真空傳感器憑借硬核技術(shù)，成為高真空環(huán)境下的關(guān)鍵監(jiān)測裝備，為工藝穩(wěn)定性與實(shí)驗(yàn)準(zhǔn)確性保駕護(hù)航。
核心技術(shù)：與穩(wěn)定雙在線
寬量程高精度監(jiān)測：測量范圍覆蓋 1×10?²~1×10?? mbar，兼顧中高真空全場景需求；采用熱陰極電離檢測技術(shù)，搭配數(shù)字化信號處理芯片，測量精度達(dá) ±5%（全量程），數(shù)據(jù)漂移≤0.1%/ 年，避免因真空度偏差影響半導(dǎo)體晶圓刻蝕、實(shí)驗(yàn)室質(zhì)譜分析等精密流程。
強(qiáng)抗干擾適配復(fù)雜環(huán)境：外殼采用耐腐蝕合金材質(zhì)，耐粉塵、抗化學(xué)氣體侵蝕，適配半導(dǎo)體工藝中的等離子體環(huán)境、實(shí)驗(yàn)室的腐蝕性試劑場景；內(nèi)置電磁屏蔽模塊，可抵御設(shè)備高頻干擾，確保數(shù)據(jù)傳輸穩(wěn)定，無需額外加裝屏蔽裝置。
場景適配：多領(lǐng)域無縫對接
工業(yè)制造領(lǐng)域：半導(dǎo)體行業(yè)中，實(shí)時(shí)監(jiān)測真空腔體壓力，保障離子注入、薄膜沉積工藝的一致性；真空鍍膜行業(yè)里，控制鍍膜環(huán)境真空度，提升鍍膜層附著力與光潔度，減少產(chǎn)品不良率。
科研實(shí)驗(yàn)領(lǐng)域：適配質(zhì)譜儀、電子顯微鏡等精密設(shè)備，為痕量分析、微觀觀測提供穩(wěn)定的真空監(jiān)測數(shù)據(jù)；在低溫物理、天體模擬實(shí)驗(yàn)中，長期監(jiān)測超高真空環(huán)境，滿足實(shí)驗(yàn)對真空度的嚴(yán)苛要求。
使用優(yōu)勢：省心省力降成本
免頻繁維護(hù)：傳感器核心部件壽命達(dá) 8000 小時(shí)以上，支持 18 個(gè)月免校準(zhǔn)，減少停機(jī)維護(hù)時(shí)間；模塊化設(shè)計(jì)，故障時(shí)可快速更換核心組件，無需整體拆裝，降低運(yùn)維難度。
智能便捷集成：兼容 RS485/Modbus 通信協(xié)議，可直接接入工廠或?qū)嶒?yàn)室的中控系統(tǒng)，支持遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)查看與異常報(bào)警；體積小巧（僅手掌大小），安裝空間靈活，適配各類真空腔體管路。
品質(zhì)保障：認(rèn)可更放心
依托成熟的真空監(jiān)測技術(shù)積淀，產(chǎn)品通過 CE/ISO 雙重認(rèn)證，適配多品牌真空設(shè)備（如普發(fā)、愛德華等），原廠提供技術(shù)支持與售后保障，確保設(shè)備長期穩(wěn)定運(yùn)行，為高真空場景的監(jiān)測提供可靠解決方案。
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