PANDA WZ 0250–2400 A/B羅茨真空泵
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摘要
PANDA WZ 0250–2400 A/B 羅茨真空泵，采用實心葉片設(shè)計，結(jié)構(gòu)堅固，運行穩(wěn)定可靠。具備出色容積效率、高極限壓力，集成旁通閥，適用于中高真空應(yīng)用，如太陽能、平板、半導(dǎo)體工藝等，安裝靈活，助力提升前級泵性能。
產(chǎn)品介紹
PANDA WZ 0250–2400 A/B羅茨真空泵
優(yōu)化的氣密性，適合中真空和高真空應(yīng)用
技術(shù)規(guī)格
ISO 50 HzISO 60 HzUS 60 Hz
尺寸圖
PANDA WZ 0250–2400 A/B
抽速
空氣溫度為 20°C 時， 公差：± 10%
PANDA WZ 0250–2400 A/B 羅茨真空泵：工業(yè)真空系統(tǒng)的性能倍增器
PANDA WZ 0250–2400 A/B 羅茨真空泵是精密制造領(lǐng)域的核心設(shè)備，為中高真空需求場景提供穩(wěn)定可靠的真空解決方案。采用高強度 GGG40 鑄鐵材質(zhì)打造，具備卓越的耐化學(xué)腐蝕性和機械強度，泄漏率低至≤1×10?? mbar?l/s，確保嚴苛工藝中的零污染運行。
該系列泵抽氣速率覆蓋 263-2540 m³/h（50/60Hz），配合 53-100 hPa 的最大壓差設(shè)計，能將真空系統(tǒng)性能提升十倍以上。集成智能旁通閥可自動調(diào)節(jié)壓力波動，在太陽能電池板 PECVD 工藝中作為 “輔助呼吸肌”，顯著縮短從粗真空到高真空的過渡時間，提升生產(chǎn)節(jié)拍。
靈活安裝設(shè)計是其突出優(yōu)勢，支持法蘭連接到系統(tǒng)任意位置，縱向或橫向排放方式適配不同廠房布局。5.5-6.6kW 高效電機搭配精密傳動系統(tǒng)，實現(xiàn)低能耗運行，較傳統(tǒng)設(shè)備節(jié)能 15% 以上。無接觸轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)減少磨損，大幅延長維護周期，降低停機成本。
專為半導(dǎo)體刻蝕、平板顯示濺射等高端工藝設(shè)計，符合 CE、UL 等國際標準，滿足 SEMI S2 安全規(guī)范。無論是多晶硅刻蝕的腐蝕性環(huán)境，還是半導(dǎo)體薄膜沉積的超高潔凈要求，都能穩(wěn)定輸出高極限真空。
從實驗室研發(fā)到大規(guī)模量產(chǎn)，PANDA WZ 系列憑借 20000 小時以上的穩(wěn)定運行能力，為您的生產(chǎn)保駕護航，是提升工藝精度與產(chǎn)能的理想之選。
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