VPI真空泵隔離閥

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關(guān)鍵詞： I真空泵隔離閥

摘要

VPI 真空泵隔離閥，是真空系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)氣流控制的核心部件。采用高品質(zhì)材質(zhì)打造，密封性能優(yōu)異，可快速隔離真空泵與管路，有效保護(hù)設(shè)備、穩(wěn)定真空環(huán)境。適用于半導(dǎo)體、鍍膜、科研等領(lǐng)域，安裝便捷，耐用性強(qiáng)，為您的真空系統(tǒng)運(yùn)行保駕護(hù)航。

產(chǎn)品介紹

VPI真空泵隔離閥

I真空泵隔離閥

一、真空泵隔離閥 (VPI)

安捷倫真空隔離閥 (VPI) 與機(jī)械泵通過電線相連。斷電時(shí)可以快速關(guān)閉閥，從而防止油返流或顆粒進(jìn)入真空系統(tǒng)。還可從入口側(cè)進(jìn)行泵放空，將碎屑全部推向出口，從而防止碎屑在泵重啟時(shí)被沖入系統(tǒng)中。
閥體設(shè)計(jì)和直角式構(gòu)造提供了最大的流導(dǎo)。快速動(dòng)作的穩(wěn)定密封為您的真空系統(tǒng)提供及時(shí)保護(hù).

特性：

采用中心鎖定機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)可靠、重復(fù)的密封

快速動(dòng)作，在電源故障時(shí)，閥在 30 ms 內(nèi)關(guān)閉，防止油或污染物遷移，為您的真空系統(tǒng)提供及時(shí)保護(hù)

在泵入口側(cè)進(jìn)行泵放空，保持流向不變

油/碎屑不會(huì)沖入系統(tǒng)中

在泵入口壓力恢復(fù)到系統(tǒng)壓力之前保持關(guān)閉，以提供持續(xù)保護(hù)并方便重啟

在大氣壓下操作，并在斷電時(shí)執(zhí)行，操作無需壓縮空氣

提供最大流導(dǎo)，不降低抽速

二、技術(shù)規(guī)格

三、訂購部件號(hào)

部件號(hào)	產(chǎn)品描述
VPI25INV24DC	真空泵隔離閥 (VPI)，24 VDC，用于 TriScroll 300 變頻真空干泵
VPI40INV24DC	真空泵隔離閥 (VPI)，24 VDC，用于 TriScroll 600 變頻真空干泵
VPI252205060	真空泵隔離 (VPI) 閥，NW25，220 V，50/60 HZ
VPI402205060	真空泵隔離 (VPI) 閥，NW40，220 V，50/60 HZ