安捷倫離子泵控制器

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關鍵詞：安捷倫離子泵控制器

摘要

安捷倫離子泵控制器是真空系統(tǒng)的核心控制單元，適配多種離子泵，具備參數(shù)調(diào)節(jié)、實時狀態(tài)監(jiān)控與智能保護功能。采用模塊化設計，操作便捷，可穩(wěn)定維持高真空、超高真空環(huán)境，為科研實驗、半導體制造等對真空度要求嚴苛的場景提供可靠控制，是真空系統(tǒng)運行的品質(zhì)之選。

產(chǎn)品介紹

安捷倫離子泵控制器

安捷倫離子泵控制器

離子泵控制器

安捷倫提供各種離子泵控制器，包括推出的單通道控制單元 IPCMini、4UHV 多通道控制單元和適用于鈦升華泵的 TSP 控制單元。
新的 IPCMini 離子泵控制器具有 3.5 英寸觸摸屏，其創(chuàng)新設計使您能夠啟動、控制和監(jiān)控 0.2 到 500 L/s 抽速的離子泵。IPCMini 采用標準 1/4 機架。
4UHV 離子泵控制器使您能夠獨立地啟動、控制和監(jiān)控多達 4 臺 20 到 1000 L/s 抽速的離子泵。低電噪音的設計可以讓您在關鍵應用中自由選擇舍棄或減少電氣噪聲過濾器的使用。
TSP 控制器具有緊湊型標準半機架，能夠操作安捷倫 TSP Cartridge 鈦絲和安捷倫 MiniTi-ball 鈦球。

特性

安捷倫 563 B-A 真空計特性：采用 Bayard-Alpert 技術(shù)，測量范圍覆蓋 2×10^-10 至 1×10^-3 torr 超寬區(qū)間；加熱燈絲電子源搭配玻璃外殼鉑涂層，靈敏度高、X 射線限值低，數(shù)據(jù)；結(jié)構(gòu)設計穩(wěn)定可靠，適配科研、半導體等多場景真空系統(tǒng)，安裝便捷且長期運行性能優(yōu)異，是真空測量領域的高品質(zhì)選擇。

性能指標

安捷倫 563 B-A 真空計核心性能指標

測量范圍：覆蓋 2×10^-10 至 1×10^-3 torr（對應 2.6×10^-10 至 1.3×10^-3 mbar），適配超高真空至中真空測量場景。

靈敏度：標準值為 10 (torr)^-1 / (mbar)^-1，保障微量壓力變化的捕捉。

X 射線限值：低至 2×10^-10 torr，有效減少背景干擾，提升極端真空環(huán)境下的測量準確性。

核心配置：采用加熱燈絲電子源，搭配玻璃外殼鉑涂層設計，兼顧穩(wěn)定性與抗干擾能力。

適配性：可與專用真空計控制器配套使用，兼容科研、半導體制造等多場景真空系統(tǒng)。

部件號及說明

安捷倫離子泵控制器