普發(fā)真空（PFEIFFER VACUUM）HiPace 系列渦輪分子泵

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關(guān)鍵詞： HiPace 系列渦輪分子泵

摘要

普發(fā)真空 HiPace 系列渦輪分子泵，搭載高速磁懸浮軸承技術(shù)，極限真空低至 1×10?11 mbar，抽速覆蓋 10–9200 L/s 寬量程。無油運行設(shè)計污染，支持 400℃高溫烘烤，適配多規(guī)格法蘭。具備智能監(jiān)控與快速啟動功能，穩(wěn)定耐用，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、科研、鍍膜等超高真空場景，是工業(yè)與實驗室真空系統(tǒng)的。

產(chǎn)品介紹

普發(fā)真空（PFEIFFER VACUUM）HiPace 系列渦輪分子泵，它是一款高真空獲得設(shè)備，通過高速旋轉(zhuǎn)的渦輪葉片輸運氣體分子實現(xiàn)超高真空環(huán)境，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、科研實驗等領(lǐng)域，是真空系統(tǒng)的核心部件之一。

HiPace 系列渦輪分子泵

普發(fā) HiPace 系列渦輪分子泵的抽速特性曲線，它展示了 N?、He、Ar、H?等氣體在不同壓強（單位：hPa）下的抽速（單位：l/s）變化規(guī)律，是評估該系列分子泵抽氣性能的核心圖表，用于真空系統(tǒng)的選型與性能匹配分析。

HiPace 系列渦輪分子泵

普發(fā) HiPace 系列渦輪分子泵的安裝尺寸圖紙，標(biāo)注了該設(shè)備的接口規(guī)格（如 DN 100 ISO-K 進氣口、DN 16 ISO-KF 排氣口）、安裝孔位（M8 螺栓）及各部位尺寸參數(shù)，用于指導(dǎo)設(shè)備在真空系統(tǒng)中的安裝與適配。

HiPace 系列渦輪分子泵