COBRA DS 3181 C干式螺桿真空泵

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關(guān)鍵詞：干式螺桿真空泵

摘要

COBRA DS 3181 C 干式螺桿真空泵
專為平板顯示器生產(chǎn)設(shè)計，零油污染結(jié)構(gòu)油蒸汽干擾，適配 OLED 蒸鍍、ITO 濺射等高精度工藝，達 8K 面板標(biāo)準(zhǔn)。支持 8.5 代線基板連續(xù)生產(chǎn)，稼動率超 90%，免維護減 90% 運維成本，耐腐材質(zhì)壽命達 8 年，5 分鐘實現(xiàn)預(yù)真空，是面板廠商新建 / 升級產(chǎn)線的真空方案。

產(chǎn)品介紹

COBRA DS 3181 C干式螺桿真空泵

干式螺桿真空泵

適用于高要求工藝的新一代干式真空泵

干式螺桿真空泵

技術(shù)規(guī)格

ISO 50 HzISO 60 HzUS 60 Hz

干式螺桿真空泵

尺寸圖

COBRA DS 3181 C

干式螺桿真空泵

抽速

空氣溫度為 20°C 時，公差：± 10%

干式螺桿真空泵

COBRA DS 3181 C 干式螺桿真空泵 —— 平板顯示器生產(chǎn)的潔凈真空解決方案

作為平板顯示器（FPD）制造領(lǐng)域的核心真空設(shè)備，COBRA DS 3181 C 干式螺桿真空泵憑借零油污染設(shè)計與超高真空性能，成為 OLED/LCD 面板生產(chǎn)的理想選擇。其無油工作腔結(jié)構(gòu)從根源油蒸汽污染，適配顯示制造中有機材料蒸鍍、ITO 透明導(dǎo)電層濺射等對潔凈度要求苛刻的工藝，確保像素精度與薄膜導(dǎo)電性達到 8K 分辨率面板生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)。

在核心應(yīng)用場景中，該設(shè)備展現(xiàn)出極強的工藝適配性：OLED 蒸鍍環(huán)節(jié)可穩(wěn)定維持 10?? mbar 高真空環(huán)境，有效防止有機材料氧化失效；液晶灌注工序中快速排除氣泡，使面板顯示一致性提升 30% 以上；磁控濺射鍍膜時控制腔室壓力，保障 ITO 薄膜透光率達 92% 以上。針對顯示產(chǎn)業(yè)大尺寸基板趨勢，其大抽氣量設(shè)計支持 8.5 代線玻璃基板（2200mm×2500mm）連續(xù)生產(chǎn)，稼動率穩(wěn)定在 90% 以上，顯著提升產(chǎn)線效率。

設(shè)備還具備顯著的運營優(yōu)勢：免維護結(jié)構(gòu)減少 90% 運維成本，無油設(shè)計省去廢油處理環(huán)節(jié)，符合 ISO 14001 環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)；耐腐蝕性材質(zhì)可應(yīng)對顯示制造中的特種工藝氣體，延長設(shè)備使用壽命至 8 年以上；5 分鐘內(nèi)可實現(xiàn) 5×10?³ Pa 預(yù)真空，滿足產(chǎn)線快速換型需求。

無論是顯示面板廠商的新建產(chǎn)線，還是現(xiàn)有設(shè)備的升級改造，COBRA DS 3181 C 都能提供兼具潔凈度、效率與經(jīng)濟性的真空解決方案，助力企業(yè)在顯示技術(shù)迭代中搶占先機。

COBRA DS 3181 C 干式螺桿真空泵 —— 平板顯示生產(chǎn)的核心技術(shù)裝備

作為平板顯示器（FPD）制造的關(guān)鍵真空設(shè)備，COBRA DS 3181 C 憑借硬核技術(shù)優(yōu)勢，成為 OLED、LCD 面板產(chǎn)線的方案。其核心技術(shù)亮點集中在潔凈真空控制與適配能力兩大維度，契合顯示生產(chǎn)對精度、穩(wěn)定性的嚴(yán)苛要求。

在潔凈技術(shù)上，設(shè)備采用無油式螺桿腔體設(shè)計，從技術(shù)根源油蒸汽污染 —— 這一特性對 OLED 有機材料蒸鍍工藝至關(guān)重要，能穩(wěn)定維持 10?? mbar 高真空環(huán)境，避免有機發(fā)光層氧化失效，保障 8K 分辨率面板的像素發(fā)光一致性，良率提升超 15%。針對 ITO 透明導(dǎo)電層濺射工藝，其高精度壓力控制系統(tǒng)可將腔室壓力波動控制在 ±0.1 Pa 內(nèi)，確保薄膜厚度均勻性，使透光率穩(wěn)定達 92% 以上，滿足顯示面板的光學(xué)性能標(biāo)準(zhǔn)。