COBRA DS 3010/3161 C/G干式螺桿真空泵

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關(guān)鍵詞：干式螺桿真空泵

摘要

COBRA DS 3010/3161 C/G 干式螺桿真空泵，專為平板顯示 OLED/Mini LED 生產(chǎn)設(shè)計(jì)！全干式無(wú)油結(jié)構(gòu)防污染，碳?xì)錃埩簦?.01ppm；PTFE 涂層抗腐，維護(hù)周期超 8000 小時(shí)。極限真空 1×10?3Pa，壓力波動(dòng)≤±0.01Pa，IE4 電機(jī)節(jié)能 22%，獲 SEMI S2 認(rèn)證，保障面板良率。

產(chǎn)品介紹

COBRA DS 3010/3161 C/G干式螺桿真空泵

干式螺桿真空泵

技術(shù)規(guī)格

ISO 50 HzISO 60 Hz

干式螺桿真空泵

尺寸圖

COBRA DS 3010/3161 C/G

干式螺桿真空泵

抽速

空氣溫度為 20°C 時(shí)，公差：± 10%

干式螺桿真空泵

隨著平板顯示向 OLED 柔性屏、Mini LED 高分辨率方向升級(jí)，鍍膜、光刻、封裝等核心工序?qū)φ婵窄h(huán)境的 “零污染、高穩(wěn)定” 要求愈發(fā)嚴(yán)苛，COBRA DS 3010/3161 C/G 干式螺桿真空泵憑借定制化技術(shù)設(shè)計(jì)，成為 FPD 生產(chǎn)線的核心真空設(shè)備。

技術(shù)層面生產(chǎn)痛點(diǎn)：其一，無(wú)油潔凈設(shè)計(jì)是關(guān)鍵 —— 采用全干式螺桿結(jié)構(gòu)，無(wú)任何工作液參與真空形成，從根源傳統(tǒng)油式真空泵的油霧污染，符合 ISO 14644-1 Class 5 潔凈室標(biāo)準(zhǔn)，可直接對(duì)接顯示基板處理工位，避免因油污染導(dǎo)致的面板報(bào)廢率（降低至 0.1% 以下）；其二，高精度真空控制適配多工序需求：轉(zhuǎn)子采用五軸聯(lián)動(dòng)精密加工，齒間間隙控制在 5μm 內(nèi)，極限真空度可達(dá) 1×10?³Pa，抽氣速率穩(wěn)定在 300-360 m³/h，在光刻工序中可維持 ±0.01Pa 的真空波動(dòng)，保障光刻膠涂覆均勻性；其三，抗污染強(qiáng)化設(shè)計(jì)應(yīng)對(duì)工藝雜質(zhì)：泵腔內(nèi)壁噴涂 PTFE 耐腐蝕涂層，可耐受面板生產(chǎn)中揮發(fā)的有機(jī)胺（如 TMA）、硅烷等腐蝕性氣體，避免結(jié)垢堵塞，維護(hù)周期延長(zhǎng)至 8000 小時(shí)以上（是普通干式泵的 1.5 倍）。

市場(chǎng)應(yīng)用上，該泵適配中小尺寸 OLED（手機(jī) / 平板）、大尺寸 Mini LED（電視）生產(chǎn)線：鍍膜環(huán)節(jié)可配合磁控濺射設(shè)備，提供持續(xù)高真空；封裝環(huán)節(jié)支持變頻調(diào)速，快速切換至 50-100Pa 的中真空區(qū)間，適配激光封邊工藝。同時(shí)通過(guò) SEMI S2 安全認(rèn)證，滿足電子制造業(yè)嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn)；電機(jī)能效達(dá) IE4 級(jí)，比同類型泵節(jié)能 22%，一條 10 萬(wàn)片 / 月的 OLED 生產(chǎn)線年省電費(fèi)超 12 萬(wàn)元。無(wú)論是新建產(chǎn)線還是舊設(shè)備升級(jí)，其 “低污染、高適配、長(zhǎng)壽命” 特性，都能為顯示企業(yè)降低生產(chǎn)成本、提升產(chǎn)品良率。