HiPace 800 M渦輪分子真空泵
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摘要
德國普發(fā)真空 HiPace 800 M 磁懸浮渦輪分子泵,5 軸磁懸浮技術(shù)實現(xiàn)無油潔凈運行,氮氣抽速達 790 l/s,極限壓力低至 < 5×10?1? hPa。零維護設計,低振動靜音,獲 Semi S2 與 IP54 認證。支持任意角度安裝,庫,適配半導體、鍍膜及精密研發(fā),10 萬小時超長壽命保障穩(wěn)定。
產(chǎn)品介紹
HiPace 800 M渦輪分子真空泵




技術(shù)規(guī)格ISO

抽速

HiPace 800 M 渦輪分子真空泵:精密制造的超高真空解決方案
德國普發(fā)真空 HiPace 800 M 磁懸浮渦輪分子泵,以創(chuàng)新科技重新定義工業(yè)真空標準。搭載專利 5 軸主動磁懸浮系統(tǒng),實現(xiàn)轉(zhuǎn)子無接觸懸浮運行,配合實時監(jiān)測與自動平衡補償技術(shù),消除機械磨損,將維護需求降至零,確保 10 萬小時超長穩(wěn)定運行。
其核心性能堪稱行業(yè)標桿:氮氣抽速高達 790 l/s,極限壓力低至 < 5×10?¹? hPa,可快速建立超高潔凈真空環(huán)境。IP54 防護等級賦予設備防塵防水能力,即使在多塵或偶爾濺水的工業(yè)環(huán)境中也能可靠運行,而 Semi S2 認證則確保其完全符合半導體制造的嚴苛安全標準,覆蓋電氣安全、輻射防護等 22 項關(guān)鍵指標。
設計上的突破讓安裝更靈活 —— 支持任意角度部署,緊湊機身顯著節(jié)省機臺空間。集成驅(qū)動電子裝置簡化系統(tǒng)集成,低振動(<0.1 mm/s)與低噪音特性,使其成為精密光學鍍膜、半導體晶圓制造及研發(fā)的理想選擇。
創(chuàng)新密封氣閥設計有效阻隔有害物質(zhì)侵入,配合智能運行監(jiān)控系統(tǒng),可實時反饋設備狀態(tài)并預防潛在故障。普發(fā)真空 50 余個服務中心提供快速響應支持,更有靈活的保修方案與設備置換服務,確保停機時間短化。從實驗室到量產(chǎn)線,HiPace 800 M 以無油潔凈、節(jié)能與終身低維護成本,成為制造領域的核心真空動力。
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