HiPace 800 M渦輪分子真空泵

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摘要

德國普發(fā)真空 HiPace 800 M 磁懸浮渦輪分子泵，5 軸磁懸浮技術(shù)實現(xiàn)無油潔凈運行，氮氣抽速達 790 l/s，極限壓力低至 < 5×10?1? hPa。零維護設計，低振動靜音，獲 Semi S2 與 IP54 認證。支持任意角度安裝，庫，適配半導體、鍍膜及精密研發(fā)，10 萬小時超長壽命保障穩(wěn)定。

產(chǎn)品介紹

HiPace 800 M渦輪分子真空泵

渦輪分子真空泵

技術(shù)規(guī)格ISO

渦輪分子真空泵

抽速

渦輪分子真空泵

HiPace 800 M 渦輪分子真空泵：精密制造的超高真空解決方案

德國普發(fā)真空 HiPace 800 M 磁懸浮渦輪分子泵，以創(chuàng)新科技重新定義工業(yè)真空標準。搭載專利 5 軸主動磁懸浮系統(tǒng)，實現(xiàn)轉(zhuǎn)子無接觸懸浮運行，配合實時監(jiān)測與自動平衡補償技術(shù)，消除機械磨損，將維護需求降至零，確保 10 萬小時超長穩(wěn)定運行。

其核心性能堪稱行業(yè)標桿：氮氣抽速高達 790 l/s，極限壓力低至 < 5×10?¹? hPa，可快速建立超高潔凈真空環(huán)境。IP54 防護等級賦予設備防塵防水能力，即使在多塵或偶爾濺水的工業(yè)環(huán)境中也能可靠運行，而 Semi S2 認證則確保其完全符合半導體制造的嚴苛安全標準，覆蓋電氣安全、輻射防護等 22 項關(guān)鍵指標。

設計上的突破讓安裝更靈活 —— 支持任意角度部署，緊湊機身顯著節(jié)省機臺空間。集成驅(qū)動電子裝置簡化系統(tǒng)集成，低振動（<0.1 mm/s）與低噪音特性，使其成為精密光學鍍膜、半導體晶圓制造及研發(fā)的理想選擇。

創(chuàng)新密封氣閥設計有效阻隔有害物質(zhì)侵入，配合智能運行監(jiān)控系統(tǒng)，可實時反饋設備狀態(tài)并預防潛在故障。普發(fā)真空 50 余個服務中心提供快速響應支持，更有靈活的保修方案與設備置換服務，確保停機時間短化。從實驗室到量產(chǎn)線，HiPace 800 M 以無油潔凈、節(jié)能與終身低維護成本，成為制造領域的核心真空動力。

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