ATP 1603M 渦輪分子泵
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摘要
ATP 1603 M 真空閥，DN 200 CF-F 接口適配工業(yè)場景，搭載 OBC V4 系統(tǒng)支持遠程操控，無需手動值守更。非加熱設計適配低溫工況，5 組核心輔助組件強化密封性能與流通穩(wěn)定性?？貕骸㈨憫杆?，適配愛德華 / 萊寶等品牌真空泵，廣泛用于半導體、光伏等領域，兼具可靠性與便捷性，是工業(yè)真空系統(tǒng)的配件。
產(chǎn)品介紹
普發(fā)真空（Pfeiffer Vacuum）ATP 1603M 渦輪分子泵。
它屬于渦輪分子泵品類，是實現(xiàn)超高真空環(huán)境的關(guān)鍵設備，廣泛應用于半導體制造、科學研究等對真空度要求極高的領域。
核心應用場景
廣泛適配半導體制造、光伏、航空航天及科研實驗等領域，可用于真空鍍膜、蝕刻、CVD/PVD 設備及真空測試系統(tǒng)，滿足高真空環(huán)境下的流體控制需求。
核心產(chǎn)品特性
搭載 OBC V4 電子驅(qū)動系統(tǒng)，支持 Remote、RS-232/RS-485 等多協(xié)議遠程操控，無需現(xiàn)場值守。
DN 200 CF-F 標準法蘭接口，采用 316L 不銹鋼 + 無氧銅墊片設計，密封可靠且適配主流真空系統(tǒng)。
非加熱設計適配 - 30℃至 80℃工況，5 組輔助組件強化結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性與密封耐久性。
核心技術(shù)參數(shù)
接口規(guī)格：DN 200 CF-F 標準法蘭，支持多協(xié)議通信（EtherCAT®/Profibus 可選）。
控制方式：OBC V4 電子驅(qū)動，支持遠程監(jiān)控與指令下發(fā)，實時反饋運行狀態(tài)。
結(jié)構(gòu)配置：非加熱設計 + 5 組輔助密封組件，標準化結(jié)構(gòu)便于安裝與維護。
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