普發(fā)真空（PFEIFFER VACUUM）HiPace 系列渦輪分子泵

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關(guān)鍵詞：遠(yuǎn)程操控

摘要

普發(fā)真空（PFEIFFER VACUUM）HiPace 系列渦輪分子泵，憑借高速渦輪葉片技術(shù)與復(fù)合軸承設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn) 10?1?hPa 級(jí)超高真空。它對(duì)氫、氦等小分子氣體抽吸能力強(qiáng)勁，抽速與壓縮比表現(xiàn)優(yōu)異，適配半導(dǎo)體制造、質(zhì)譜分析、科研實(shí)驗(yàn)等多場(chǎng)景。設(shè)備支持任意方向安裝，具備 IP54 防護(hù)與 Semi S2 認(rèn)證，免維護(hù)運(yùn)行達(dá) 4 年，節(jié)能且穩(wěn)定性強(qiáng)，是真空系統(tǒng)的高可靠核心部件。

產(chǎn)品介紹

普發(fā)真空（PFEIFFER VACUUM）HiPace 系列渦輪分子泵，是一款高真空獲得設(shè)備，通過(guò)高速渦輪葉片輸運(yùn)氣體分子實(shí)現(xiàn)超高真空環(huán)境，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、科研實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域，是真空系統(tǒng)的核心部件之一。

遠(yuǎn)程操控

普發(fā) HiPace 系列渦輪分子泵的抽速特性曲線，展示了 N?、He、Ar、H?等氣體在不同壓強(qiáng)（單位：hPa）下的抽速（單位：l/s）變化規(guī)律，是評(píng)估該系列分子泵抽氣性能的核心圖表，用于真空系統(tǒng)的選型與性能匹配分析。

遠(yuǎn)程操控

普發(fā) HiPace 系列渦輪分子泵的安裝尺寸圖紙，標(biāo)注了該設(shè)備的接口規(guī)格（如 DN 100 ISO-K 進(jìn)氣口、DN 16 ISO-KF 排氣口）、安裝孔位（M8 螺栓）及各部位尺寸參數(shù)，用于指導(dǎo)設(shè)備在真空系統(tǒng)中的安裝與適配。

遠(yuǎn)程操控